微細加工

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微細加工

概要

当社では、レーザー微細加工(マイクロ接合、マイクロドリリング、アブレーション)を中心とし、お客様の仕様や用途に応じて放電加工、切削加工等を駆使した最適な加工方法により、単品試作から量産のお手伝いまで幅広い対応が可能です。


加工サンプル例





加工形状

  • 溶接、肉盛
  • 微細穴(ピンホール)
  • 深穴、止め孔、高アスペクト比穴
  • 長孔、溝、高アスペクトスリット
  • 精密切断

加工方法

  • 短パルス/超短パルスレーザ加工
  • CW/Q-CWレーザ加工
  • 化学薬品(化学反応・腐食作用)を用いたエッチング加工
  • 微細電極を用いた放電加工
  • 特殊ツールを用いたマシニング加工
* 当社では、微細形状・特殊材料など既存の加工では困難だと思われる微細加工を日々研究開発しております。

測定/評価方法

加工レベルがマイクロメートルオーダーと微小な場合には、材料表面での光の反射や、磁性の影響等の様々な要因が評価結果に影響します。弊社は、独自の技術を用いて、これらの影響を考慮した最適な測定/観察方法を採用しています。
  • デジタルマイクロスコープ
  • レーザ顕微鏡
  • 走査顕微鏡(SEM)
  • 実体顕微鏡
  • 高速高解像度赤外線カメラ

金属加工

微細レーザ溶接

超微細レーザ溶接 微細溶接加工 精密レーザ溶接加工
材質:銅(Cu)
方式:キーホール溶接
需要の多い銅の精密溶接
材質:SUS
方式:キーホール溶接
十分な接合強度を持った微細溶接
材質:アルミ
ビート幅が0.2mmの超精密レーザ溶接

レーザマイクロ溶接 微細つきあわせ溶接加工 超精密レーザ溶接加工
材質:銅(Cu)、ニッケル(Ni)
方式:レーザマイクロ溶接
微細なマイクロ溶接も可能
材質:銅箔とニッケル箔
方式:突き合わせマイクロ溶接
材料を突き合わせて精密に溶接
材質:ニッケル箔の上に銅箔
下面のニッケル箔まで確実に溶接


スリット加工

超微細スリット加工 超微細スリット加工 超微細スリット加工
溝観察写真: 幅0.04mm×深さ0.9mmの溝 溝観察写真: 幅0.04mm×深さ0.9mmの溝 スリット幅:< 100µm


微細穴加工

超微細穴加工 微細穴加工 微細穴加工
材質:SUS
厚さ:100μm
穴径:Φ10μm(±1μm)
材質:タングステン(W)
厚さ:50μm
穴径:Φ35μm(±1μm)
タングステン穴加工の3次元イメージ

超長穴加工 超長穴加工 超長穴加工
材質:SUS系
深さ:150mm
穴径:Φ600μm
シャーペンとほぼ同じ長さの長い孔加工 端面を観察すると、しっかりとφ0.6mmの微細穴が加工されています。

微細穴加工 微細穴加工 微細穴加工
材質:金メッキニッケル
穴径:Φ300μm
反射率のt高い金へも精密加工
材質:銅箔(Cu)
厚さ:100μm
穴径:Φ40μm
熱影響が少ない微細穴
材質:銅箔(Cu)
厚さ:100μm
穴径:300μm□穴
熱影響が少ない微細穴

精密穴加工 高アスペクト微細穴加工 微細穴加工
材質:銅箔(Cu)t0.1mm
穴径:Φ150μm
反射率のt高い銅へも精密加工できます。
材質:アルミ(A5052)
穴径:φ65μm
深さ:> 150μm
高アスペクト微細穴
材質:ステンレス(SUS430)
テーパー形状の微細穴


精密穴加工 超精密微細穴加工 パイプへ微細穴加工
材質:タンタル t3mm
穴径:Φ100μm
機械加工が難しいタンタルへの精密加工ができます。
材質:ステンレス
穴径:φ37μm
真円度:1μm
材質:ステンレスパイプ
直径Φ100±1μmの微細穴


精密ノズル加工 高アスペクト長孔微細加工 微細先端加工
材質:ステンレス
穴径:Φ80μm
極細ノズルを精密に加工できます。
材質:ステンレス
穴径:φ350μm
高アスペクトな長孔と細穴を精密に加工
材質:Ni-Ti
微細棒の先端を精密に半球状に加工


微細溝加工

微細溝加工 高密度溝加工 精密溝加工
材質:SPCC
溝幅:100μm
SPCCへの浅めの溝加工です。
材質:SPCC
溝幅:30μm
SPCCへ高密度で溝を形成してあります。
材質:A5052
溝幅:30μm
アルミへの狭い溝加工です。


微細スリット加工 精密スリット 精密溝加工
タングステンへのスリット加工 材質:タングステン
溝幅:80μm
長さ:2mm
材質:SUS304
精密溝加工


微細スリット加工 精密コム電極加工 精密溝加工
異形状のスリット加工 材質:ステンレス
精度:1μm
直線性良く狭ピッチ加工
溝幅:5μm
精密スリット加工

ガラス加工

穴加工

高品質微細穴加工 微細多穴加工 曲面ガラス加工
 
材質:ガラス
厚さ:0.3mm
穴径:Φ120μm
穴径Φ0.12±0.005mm
穴ピッチ0.25±0.005mm
穴数200穴
用途テスター部品
材質:ガラス(曲面)
厚さ:1mm
穴径:Φ100μm


ガラススリット加工 微細スリット加工 高品質微細穴加工
 
材質:ガラス
非常に高精度な微細加工
幅80µm、長さ2mmのスリットをガラスに加工 材質:ガラス
チッピングがなく高品質な加工
レーザマイクロ接合技術 レーザ微細加工 光学部品 光学系設計製作 
レーザ加工技術 精密計測制御技術 電子回路設計開発 ソフトウエア開発

マイクロエッヂプロセス株式会社 〒252-0131 神奈川県相模原市緑区西橋本5-4-30
さがみはら産業創造センター SIC2-703


     
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